山东亚世特工业清洗设备有限公司是一家专业从事超声波清洗机、通过式喷淋清洗机、高压喷淋清洗机、碳氢、气相清洗机等工业清洗设备的设计、制造及销售的高新技术企业。主要产品有单槽及多槽超声波清洗机,全(半)自动超声波清洗流水线,全(半)自动高压喷淋清洗流水线,全(半)自动超声喷淋流水线,碳氢清洗机,气相清洗机,真空干燥清洗机等工业清洗设备,并提供免费的专业咨询和设计服务。
刷洗 ( Roll Brush wash)
刷洗的主要目的是利用刷子与玻璃基板的之间的摩擦作用来去处污垢。对于基板玻璃上的大于5μm的无机物颗粒的去处效果非常好。一般用柔软耐磨的尼龙材料来制作刷洗使用的刷毛,每一根刷毛的直径一般在0.1mm以下。下图是刷洗装置的侧面示意图:
在刷洗的过程中我们使用的是水基性的清洗剂,重庆单工位旋转喷淋清洗机定做,以增加清洗的效果。它一般是碱性的制剂、表面活性剂等成份组成的。
水洗 (water cleaning)
目前水洗过程中,的清洗过程是水气二流体清洗。二流体清洗技术是将一种高压气态流体(通常使用氮气)与一种液态流体(通常为DI水)混合后,再通过一种特殊的喷嘴--超音速喷嘴,使高压气 体与清洗液形成的液滴以超过声音在空气中的传播速度(340 米/秒)的速度喷出,当从喷嘴中喷射出的液滴喷射到运动中的被清洗物体(玻璃基板)上时,附在玻璃基板上的灰尘会被溶解剥离。此时清洗液的速度可达到1000米/秒,在被清洗物体上附着的超微小颗粒在二流体清洗液喷射时产生的冲击波作用、被清洗物体表面受到冲击时产生的振动作用、液滴沿被清洗物体表面高速喷射这三种作用的协同作用下而被去除。
山东亚世特工业清洗设备有限公司是一家专业从事超声波清洗机、通过式喷淋清洗机、高压喷淋清洗机、碳氢、气相清洗机等工业清洗设备的设计、制造及销售的高新技术企业。主要产品有单槽及多槽超声波清洗机,全(半)自动超声波清洗流水线,全(半)自动高压喷淋清洗流水线,全(半)自动超声喷淋流水线,手动单工位旋转喷淋清洗机定做,碳氢清洗机,气相清洗机,真空干燥清洗机等工业清洗设备,并提供免费的专业咨询和设计服务。
在半导体清洗工艺中,有些化学试剂在处理晶圆时,对温度有要求,通常,需要进行加热,如SC1、SC2 在 RAC 清洗工艺中就要求温度在 70~80 ℃ 。我们在选择这些加热酸槽材质时,一般选用石英材质。
加热酸槽一般由石英槽体、加热器、液位保护装置、温度检测装置、排放装置及电气控制装置等主要部分组成。
由于我们所设计的加热器是内置投放式,故对所选加热器的要求比较高,不仅能耐酸,而且还要求能耐高温。 我们所选加热器所有的加热丝及其导线都是用 PFA 包裹起来的, 而且外包的 PFA 材质十分洁净,不会对酸液有所污染。 加热器的加热功率根据槽体的容积选取。
山东亚世特工业清洗设备有限公司是一家专业从事超声波清洗机、通过式喷淋清洗机、高压喷淋清洗机、碳氢、气相清洗机等工业清洗设备的设计、制造及销售的高新技术企业。主要产品有单槽及多槽超声波清洗机,全(半)自动超声波清洗流水线,全(半)自动高压喷淋清洗流水线,全(半)自动超声喷淋流水线,碳氢清洗机,气相清洗机,真空干燥清洗机等工业清洗设备,并提供免费的专业咨询和设计服务。
注意事项:
(1)超声波清洗设备电源及电热器电源必须有良好接地装置。
(2)超声波清洗设备严禁无清洗液开机,全自动单工位旋转喷淋清洗机定做,即清洗缸没有加一定数量的清洗液,不得开启超声波开关。
(3)有加热设备的清洗设备严禁无液时打开加热开关。
(4)禁止用重物(铁件)撞击清洗缸缸底,以免能量转换器晶片受损。
(5)超声波发生器电源应单独使用一路220V/50Hz电源并配装2000W以上稳压器。
(6)清洗缸缸底要定期冲洗,不得有过多的杂物或污垢。
(7)每次换新液时,待超声波起动后,方可洗件。
超声清洗对大部分工件都是无损的。超声波清洗机尽管每秒上千次的微产生的效果是强劲的,但清洗过程是安全的,因为这种能量处在很小的能量量级上。但亦有例外的情况,有可能会引起被清洗工件的损伤。如何来避免清洗机损伤的发生,这里小型超声波清洗机就来介绍一下。千万不要选用有化学腐蚀的清洗液;不能把清洗的物体放到机器振动表面;有过高的超声波密度影响了;详细的看看下文的介绍。
1、被清洗物直接放置在超声振动体表面。会造成工件表面轻微划伤。应采用清洗吊篮等合理的清洗方式。工件于放置在有孔的托盘或网状托篮中。
2、过强的超声功率密度。可能损害某些贵重精细物品的表面,手动单工位旋转喷淋清洗机定做,如石英,猫眼石,珍珠,翡翠,绿宝石和珊瑚等。清洗此类物品时应慎重,可选用超声功率可连续调节的超声设备。
3、选用了对被清洗物有化学腐蚀的清洗液。因为清洗剂对被洗工件的潜在的负作用有可能被超声波加强。应小心的选择合适的超声清洗剂。
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